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新聞資訊

徠卡顯微鏡高品質的樣品製備的EBSD分析寬離子束研磨

2018-03-28  發布者:admin 

電子背散射衍射法(EBSD)被稱為“麵”的技術,因為電子衍射內幾十樣品表麵的納米生成。因此,試件表麵應免除任何賠償,以生產電子背散射衍射圖案。在這裏,AG亚游集团提出了編製的寬離子銑兩個非常具有挑戰性的標本成功,高效的電子背散射衍射試樣拋光。


方法:橫切離子束削坡

a)TXP:20分鍾            B)TIC 3X:3小時 - 金,6小時 - 鋁/ C

圖1:a)首先,使用徠卡TXP(橫切法)接近感興趣的區域在極短的時間進行機械預製劑。 b)然後,與Leica TIC 3X(寬離子銑削)完美的橫截麵表麵實現的,這是準備進行EBSD分析。


圖2B:XRF處理器的分析。感興趣的區域以紅色突出顯示。 EBSD分析隻在金線,它是高度變形進行的。

 

圖2D:阿古斯顏色編碼的圖像FSE揭示了一些結殼的效果,這在方向上黃色突出顯示。

結果上的半導體

圖2a:用於本申請中的計算機處理器。 


圖2C:利益被揭示和TXP議會3X進行現場具體的準備經過了精心準備的表麵區域的BSE圖像; 和不同區域的EBSD圖案,從上到下為Si,W,變形Au和較少變形的Au。


圖2E:EDS HyperMap自帶EBSD / EDS分析。 


圖2F:隨機顏色(金上98%的索引速度),電子背散射衍射粒度分布。


圖2G:顯示變形局部化取向差平均圖。 


圖2H:取向差內核的地圖。 沒有地圖的顯示結殼的效果(有以下的效果帷幕結構無):它證實了廣闊的離子束銑不會引入明顯的分型麵的損害。

結果在鋁/鑽石/石墨複合材料

圖3A:樣品的SE形象 - 概述。 


圖3b:它揭示了在兩個石墨薄片完美的表麵製備(在左側),在鋁基質中,該金剛石顆粒:製備使用TXP和TIC 3X後ARGUS FSE / BSE圖像。


鑽石 


鋁 


石墨


圖3c:不同階段的EBSD圖案。


SE圖像

圖3D:準備好的麵概述(共3個mm們拋光)。


圖案質量圖

圖3E:在EBSD / EDS分析的範式質量圖。


電子背散射衍射相位圖

圖3F:電子背散射衍射相位圖顯示了高超的索引速度,即使在石墨薄片。 石墨是在綠色顯示為藍色,金剛石在紅色和鋁。


IPF X地圖

圖3克:通訊EBSD取向圖沿X軸。


結論

而聚焦離子束技術通常用於位點特異性樣品製備,它通常防止通過引入亞表麵變形和結殼尤其是多相材料成功的EBSD分析。在這個例子中,AG亚游集团已經證明了廣泛的離子束銑允許同時拋光硬和軟質材料。奧林巴斯顯微鏡

在結合使用徠卡EM TXP和徠卡EM TIC 3X允許完美很短的時間內準備大麵積非常具有挑戰性的樣品。




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